功能特點(diǎn)
1.光機(jī)電一體化設(shè)計(jì)，外形結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單；
2.掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體，抗干擾能力強(qiáng)；
3.精密激光檢測(cè)及探針定位裝置，光斑調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單，操作方便；
4.采用精密探針定位模塊，更換探針簡(jiǎn)單方便
5.采用樣品趨近探針?lè)绞?，使針尖垂直于樣品掃描?/p>
6.伺服馬達(dá)手動(dòng)或自動(dòng)脈沖控制，驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針，實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位；
7.高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置，可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域；
8.高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
9.帶光學(xué)定位的CCD觀察系統(tǒng)，實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針掃描樣品區(qū)域
10.模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù)；
11.集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用。
12.彈簧懸掛式防震方式，簡(jiǎn)單實(shí)用，抗干擾能力強(qiáng)
操作功能
1. 可自由選擇圖像采樣點(diǎn)為256×256或512×512
2. 多通道圖像同步采集顯示，實(shí)時(shí)查看剖面圖
3. 可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域
4. 可任意選擇樣品起始掃描角度
5. 激光光斑檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能
6. 可任意定義掃描圖像的色板功能
7. 支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能
8. 支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正
9. 支持樣品圖片離線分析與處理功能
技術(shù)規(guī)格
| 名 稱(chēng) | 參 數(shù) | 名 稱(chēng) | 參 數(shù) |
| 工作模式 | 1. 接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力 | 掃描角度 | 任意 |
| 樣品尺寸 | Φ≤90mm；H≤20mm | 樣品移動(dòng)范圍 | 0～20mm |
| 最大掃描范圍 | 橫向20um，縱向2um | 馬達(dá)趨近脈沖寬度 | 10±2m |
| 掃描分辨率 | 橫向0.2nm，縱向0.05nm | 光學(xué)放大倍數(shù) | 4X |
| 掃描速率 | 0.6Hz~4.34Hz | 光學(xué)分辨率 | 2.5um |
| 掃描控制 | XY采用18-bit D/A Z采用16-bit D/A | 圖像采樣點(diǎn) | 256×256，512×512 |
| 數(shù)據(jù)采樣 | 14-bit A/D、雙16-bit A/D 多路同步采樣 | 反饋方式 | DSP數(shù)字反饋 |
| 計(jì)算機(jī)接口 | USB2.0 | 反饋采樣速率 | 64.0KHz |
| 運(yùn)行環(huán)境 | 運(yùn)行于WindowsXP/7/8操作系統(tǒng) | ||